腾博会官网
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1998
ACM成立於矽谷
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成立上海公司2005
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2009
SK Hynix開始評估
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在50nm下提高良率 主要SAPS訂單源於SK Hynix2011-2013
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2015
YMTC,SMIC,和HLMC的SAPS訂單 TEBO經3D晶圖驗證
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啟動納斯達克上市計劃
2016
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2017
TEBO 裝機至 HLMC 11月3日IPO上市
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R&D 中心在韓國建立 Tahoe評估P.O.2018-1H
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2018-2H
2018年收入5.50億元比2017年增長117%出貨量6.36億元淨利潤0.93億元 第二工廠擴充產能
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腾博会官网臨港項目啟動改制成股份公司 2019年收入7.57億元比2018年增長37.5%出貨量8億元淨利潤1.35億元2019
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2020
腾博会官网臨港研發與製造中心奠基及開工 獲得首台立式爐和刷洗機訂單 發佈18腔單片清洗設備 、半關鍵系列清洗設備
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發佈高速銅電鍍技術 、邊緣濕法刻蝕設備 、單片高溫硫酸設備;11月18日 ,科創版上市2021
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2022
腾博会官网上海推出新型化合物半導體設備系列 、ALD立式爐 、Track 、PECVD等設備;完成出貨500電鍍腔及3000濕法清洗腔體的成就;前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆“集成電路產業技術創新獎” 。
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腾博会官网上海臨港研發與製造中心封頂;公司清洗設備首次進入歐洲市場和碳化矽襯底領域;入選國家級第五批專精特新“小巨人”企業名單 。2023