成長潛力獎
張江高科技園區
工博會創新獎-12英寸65納米單片晶圓清洗設備
中國國際工業博覽會組委會
發明專利證書
專利號:ZL 2009 1 0050834.2
中國半導體創新產品和技術
中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社
年度優秀創業者
優秀參展產品獎-無應力拋銅
中國半導體行業協會 、中國國際貿易促進委員會 、上海集成電路行業協會
優秀創業企業
突出貢獻企業
上海市張江高新技術產業開發區管理委員會 、上海市人力資源和社會保障局 、上海市公務員局
優秀參展金獎
中國半導體行業協會 、中國國際貿易促進委員會 、上海集成電路行業協會
創業大賽優勝企業
創業大賽組委會 、上海市科技創業中心 、上海市大學生科技創業基金會
科學技術獎二等獎-單片晶圓清洗設備研發與應用
上海市浦東新區人民政府
工博會銅獎-兆聲波單片清洗設備
中國國際工業博覽會組委會
國家高新區百新企業
中國高新技術產業導報 、中國高新技術產業開發區協會 、中國高新區研究中心
發明專利證書
專利號:ZL 2014 8 0079603.3
發明專利證書
專利號:ZL 2015 8 0080188.8
新製程快速量產
中芯
2015年中國半導體設備十強單位
中國電子專用設備工業協會
感謝牌
海力士
科學技術獎三等獎-單片晶圓塗膠設備研發與應用
上海市浦東新區人民政府
上海市專利工作試點企業
上海市知識產權局
微信年度企業
2016年中國半導體設備行業十強
中國電子專用設備工業協會
2017年中國半導體設備十強單位
中國電子專用設備工業協會
中國半導體創新產品和技術獎-先進封裝電鍍設備
中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社
中國半導體創新產品和技術獎-TEBO
中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社
創新獎-兆聲波單片清洗機
集成電路產業技術創新戰略聯盟
2018年度優秀供應商
華力
2018年中國半導體設備五強企業
中國半導體行業協會
最佳成果獎
SK海力士
2019年卓越影響力上市企業
張江科投企業年度交流會
傑出企業
久友基金
華虹集團2019年供應商大會感謝牌
華虹集團
科技創新獎
中國國際工業博覽會組委會
2018年中國半導體設備十強單位
中國電子專用設備工業協會
2018年度上海市集成電路設備業銷售前十名
上海市集成電路行業協會
2019年度最具潛力供應商
華力半導體
開放創新合作獎
華虹集團
中國半導體創新產品和技術獎-Tahoe
中國半導體行業協會 、中國電子材料行業協會 、中國電子專用設備工業協會 、中國電子報社
上海市集成電路先進濕法工藝設備重點實驗室
上海市科學技術委員會
2019年度中國半導體設備五強企業
中國半導體行業協會
2019年度上海集成電路行業設備業前十名
上海市集成電路行業協會
上海市科學技術獎一等獎
上海市人民政府
優秀創新獎
SMIC 、SMNC國產設備評審委員會
感謝牌
海力士無錫CNC技術全體成員
上海職工勞動和技能競賽二等獎
上海市總工會
2020-2021年度上海設計100+入圍作品
上海設計100+組委會
上海市集成電路設備業銷售前十名
行業傑出貢獻獎
高新技術企業證書
上海市科學技術委員會 、上海市財政局 、國家稅務總局上海市稅務局
上海市集成電路外資企業半導體設備業銷售前五名
上海市集成電路行業協會
成果產業化獎
第五屆「IC創新獎」
上海市企業技術中心
上海市經濟和信息化委員會 、國家稅務總局上海市稅務局 、上海市財政局 、上海海關
進門財經
2022年最佳機構覆蓋IR團隊
2022年度公益慈善獎
中共浦東新區川沙鎮委員會 、浦東新區川沙新鎮人民政府
TBB上海製造業品牌價值榜/SFEO上海企業品牌成長榜
上海市工業經濟聯合會 、上海市經濟團體聯合會 、上海市商業聯合會
2022年度上海市集成電路內資半導體設備業銷售前五名
上海市集成電路行業協會
專精特新「小巨人」企業
工業和信息化部
臨港集團園區領軍之星
臨港集團
2023電子信息年度十大創新技術（SAPS）
中國電子商會 、數字經濟觀察網
2023年度企業社會公益獎
上海浦東川沙經濟園區有限公司
