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腾博会官网上海為Ultra C pr設備新添金屬剝離工藝, 以支持功率半導體製造和晶圓級封裝應用
腾博会官网上海推出新型熱原子層沉積立式爐設備, 以滿足高端半導體的生產需求
腾博会官网上海為矽片和碳化矽襯底製造推出新型預清洗設備