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應用於雙大馬士革電鍍工藝
腾博会官网上海多陽極局部電踱設備應用千55/40/28和28納米以下的大馬士革銅金屬層沉積。
脈衝局部電鍍技術
適用於超薄種子層
高產能
獨立模塊設計
低耗材成本COC和運行成本COO
設備應用於300毫米晶圓
最多可配至3個Load Port
最多可配至4個電鍍腔體配備脈衝局部電鍍功能
最多可配至4 個清洗腔體
最多可配至8個退火腔體
電鍍均一性: WIWNU < 1.5% WTWNU < 1.5%
