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槽式去膠單元——在槽式單元中使用藥液浸泡晶圓 ，該槽體一次可容納多片晶圓以提高產能 。

單片去膠腔體——將藥液噴灑在旋轉晶圓表面 ，更好地獨立控制每片晶圓工藝 。

主要優勢

使用便捷

精確的藥液控制

槽式單元預浸泡工藝

藥液回收使用可減少成本

優化安全配置

結合先進的晶圓清洗工藝

多層過濾功能

特性和規格

兼容8吋和12吋晶圓

配有浸泡槽體

配有單片去膠腔體 ，包括 ：
　　　　a.最多可配至5種藥液進行雙面清洗工藝
　　　　b.最多可回收2種藥液
　　　　c.單片腔體可搭載空間交變相位移兆聲波(SAPS)組件
　　　　d.可選配有高壓solvent/DIW噴洗